六世纪后半，由耶舍崛多翻译的《十一面观音神咒经》中具有广增《金光明经》中所说的牟才天法和十一面观音法的出现，其尊形和坛法都有详细的规定。这一世纪中出现了种种变化观音及其仪轨，这种急激的观音信仰，其旺盛的状态似乎与印度教的“湿婆”信仰有关。

七世纪初戒日王统一北印度，以曲女城为首都，文化复兴，并以那兰陀寺为中心，发扬佛教教学，但戒日王殁后，王朝崩溃，印度再度沦入分裂的时代。玄奘留滞印度(629-645)是在戒日王时代，其旅行记《大唐西域记》却没有密教的报告，由此不能肯定其游记，可涵盖印度佛教的全盘记录，大概是玄奘意不在密教，其所翻译的密教经典都是短篇陀罗尼。对玄奘所翻译的全部资料看来，密教资料的数量少得不足为取，但是当时带回中国的密教经典可能非常多。这时代造坛、结印、画像等仪轨已经完成。诸尊法也多样化。本尊观、字轮观和代表本尊的种字，以表征本尊的器物三昧耶形等也有论到。密教修法的个别化或组织化，在这一时期非常发展。

七世纪中叶由智通所翻译的《清净观世音普贤陀罗尼经》中可以看到，佛的右边置观音，左边置普贤的三尊形式。玄奘西域记中有摩羯陀国的提罗释迦寺里，佛的左右置多罗与观音，以配合三尊的记载。又阿地瞿多翻译的《陀罗尼集经》中有以释迦为中心，左右配金刚、观世音菩萨的形式画像的记载。由此可以窥知佛、莲、金，三部所开展的密教诸尊其组织化的端绪。《陀罗尼集经》的诸尊，数量增广，其各尊的手印、真言、供养法都有详细的范畴。胎藏曼荼罗诸尊的大部分，于此时已构造完成，但尚未组成曼荼罗的全貌，此时的曼荼罗，少了五佛的中尊，只如《金光明经》所说的四佛而已。修法的目的无论如何都是除灾第一。诸法之空，十波罗密的修习，或获得正觉之说，即于其陀罗尼经典中，只微示其脱皮的兆候而已。唯同时期由智通翻译的《千眼千臂观世音菩萨陀罗尼神咒经》或玄奘翻译的陀罗尼经典，都一概提及持诵陀罗尼为获得无上正等正觉为其目的。七世纪前半期所成立的《苏息地经》、《苏婆乎童子经》中具有与修法有关事项的记载。对于息灾、增益、调伏的三种护摩法也已经确定其规则。这是由《大日经》继承的。其中调伏法之一的使用血、毒药、人骨等以退除恶人的法是由《陀罗尼集经》、《一字佛顶轮王经》所说，同时也是由《金刚顶经》系之降伏法所展开的素材而组织者。

八世纪初由菩提流支介绍的《一字佛顶轮王经》与《大日经》有密切的关联性。又菩提流支翻译的《不空绢索真言经》、《大日经》、《真实摄经》都有甚深关系。于曼荼罗上，四世纪以来之四佛，到这时代已经有释迦牟尼或毗卢遮那佛来匹配，安置其中，成为五佛。胎藏界与金刚界两系统之五佛自此开始分化。《佛顶轮王经》所说的五佛和诸尊最接近胎藏曼荼罗。又此经叙述了三种法和四佛形象，比《大日经》详细，另一方面，《不空绢索经》第九卷与三十二卷所说二类五佛，前者五佛是金刚界系，其四菩萨是近胎藏系。后者五佛与金刚界系相同。但是其他诸尊都与胎藏界曼荼罗有亲缘关系。当时也有五种陀罗尼集成，皆是古印度人的除厄咒文。经发展而组织成为密教经典。密教仪轨非常杂多，三种法或三种组织，同时也成为五种法的形式，然陀罗尼法是没有统一性的。到底是属于《大日经》系或《金刚顶经》系，均无确实的佐证可得。